电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）将ICP的高温等离子体电离特性与质谱仪的灵敏度和快速扫描优势相结合，形成了一种具有独特界面技术的新的元素分析技术。与电感耦合等离子体光谱法（ICP-AES）、原子吸收光谱法（AAS）和原子荧光光谱法（AFS）等无机元素分析技术相比，ICP-MS具有检测限低、动态线性范围宽、干扰小、精度高、速度快等特点，可提供同一同位素的准确信息。它的性能大大提高了。ICP-MS还可以与其他技术相结合，如高效液相色谱（HPLC）、气相色谱（GC）和激光烧蚀取样系统（LA），以分析元素的形态和分布特征。 

ICP-MS这项技术从最初应用于地质科学研究，迅速发展到在材料、化学工业、生物、医药、冶金、石油、环境等领域的广泛应用。此外，高效液相色谱仪在分析方面也有被广泛应用。 
ICP-MS将大部分雾化原子转化为离子，然后根据质荷比进行分离，最后计算出各种离子的数量。高温等离子体电离大多数样品中元素的电子，形成单价正离子；通过ICP-MS接口将等离子体中的离子有效转移到质谱仪。 

最常用的样品注入方法是使用同心或直角气动雾化器产生气溶胶，并将其喷射到载气输送带下方的火焰炬中。样品注射体积约为1mL/min，由蠕动泵送至雾化器。在负载线圈上方约10mm处，焊炬温度约为8000K。 
由ICP火炬、接口装置和质谱仪组成；如果工作条件良好，则必须设置每个部件的工作条件。 

ICP产生的离子通过接口装置进入质谱仪。接口装置的主要参数是采样深度，即采样锥孔与火炬之间的距离。应调整两个锥形孔的距离和对齐方式。同时，应调整透镜电压以使离子具有良好的聚焦。 

事实上，在每次分析之前，有必要用多元标准溶液测试仪器的整体性能。如果仪器的灵敏度能够达到预期水平，则不再需要调整仪器。